Projekt

Black Silicon

Nanostrukturiertes Silizium weist je nach Strukturgröße und Form signifikant andere optische und elektrische Eigenschaften im Vergleich zum Volumenkristall auf. Es wurden sogenannte Black-Silicon-Strukturen entwickelt, die für neuartige Detektoren im UV- und IR-Bereich zum Einsatz kommen sollen.

Projekt

Richtungssensitiver Quadrantendetektor

Ein winziger und einfach integrierbarer Mikrochip bestimmt die Lichteinfallsrichtung auf wenige Grad genau. Der monolithische Sensor basiert auf vier integrierten Fotodioden in einem 3D-strukturierten Siliziumsubstrat. Die neuentwickelte MEMS-Technologie erlaubt eine kostengünstige Fertigung.

Projekt

Planarisiertes Wafer Level Packaging für Mikrosensoren (PlanWLP)

Wafer-Level-Bondverfahren erfordern extrem plane und saubere Grenzflächen. Durch übliche Halbleiterprozesse werden die Grenzflächen aber gestört. Das Projekt verfolgt dafür technologiekompatible Planarisierungsverfahren, die auch für solche Sensoren ein hermetisches Wafer-Level-Package ermöglichen.

Projekt

Berechnung und Verifikation von Piezokoeffizienten im Drucksensor-Design-Flow (Piezo)

Die Kennlinienberechnung piezoresistiver Widerstandsbrücken differiert oftmals mit den an den realisierten Bauelementen gemessenen Kennlinien. Mittels lokaler quantenmechanischer Bestimmung der Piezo-Konstanten wurde diese Fehlerursache bewertet und eliminiert.

Projekt

Micro-Structure Transformation of Silicon (MSTS)

Ziel war es, für Basistechnologien zur Migration von sub-Mikrometer Si-Strukturen zunächst Einzelprozesse und darauf aufbauend Prozessmodule zu entwickeln. Als Demonstratoren wurden Strukturverrundungen, lokale SOI-Bereiche sowie absolut messende piezoresistive Drucksensoren angestrebt.

Projekt

Miniaturisierter Drucksensor für einen Druckbereich kleiner 10 mbar

Die Entwicklung eines extrem kleinen Drucksensors für den Messbereich kleiner zehn Millibar erfordert neue technologische Prinzipien in der Membranentwicklung. Um die marktüblichen Spezifikationen zur Empfindlichkeit einzuhalten, wurden Siliziumoxid und Siliziumnitrid-Membranen untersucht.

Projekt

Integration von Sensornetzwerken zur Überwachung von faserverstärkten Primärstrukturen

Die Integration von optischen Lichtwellenleitern ermöglicht die permanente und bedarfsgerechte Überwachung von faserverstärkten Bauteilen. Daraus resultierend können die Sicherheitsfaktoren und Lebenszykluskosten miniert und die Reichweite oder Nutzlast in Mobilitätsanwendungen maximiert werden.

Projekt

Technologieentwicklung für die qualitätsgeregelte partielle Schleifbearbeitung von Draht mit umlaufendem Werkzeug und nicht rotierendem Werkstück

Die Zielsetzung des Projektes bestand darin, biegeschlaffes Endlosmaterial (Draht) mittels Schleifen in einem Finishing-Prozess qualitätsgeregelt zu bearbeiten.

Projekt

Material- und Verfahrensentwicklung für die industrielle Herstellung einer essbaren und vegetarischen Folienhülle

Durch die Zusammenführung von Polysacchariden und Proteinen können mittels Heißextrusion essbare Folien hergestellt werden, die zum Beispiel zur Umhüllung von fleischfreien Wurstalternativen zum Einsatz kommen. Diese Folien können genau wie konventionelle Därme (Natur, Kollagen) verwendet werden.

Projekt

Prozessentwicklung zur Herstellung von hochempfindlichen UV- und Elektronendetektoren

Durch die Entwicklung von Detektoren mit flacher aktiver Zone lassen sich UV-Photonen und niederenergetische Elektronen mit hoher Quanteneffizienz detektieren. Dies ist für eine oberflächensensitive Messung im Rasterelektronenmikroskop unerlässlich.